Huvudsakliga prestanda- och strukturfunktioner:
1. Areadensitetsmätaren och tändstickan kan bilda en sluten slinga.
2. CCD-system med sluten styrning för dimensionsdetektering.
3. Klistra fast avslutningstejpen på anrikningssandsprofilerna.
4. Dubbelskiktsuppslamning kan beläggas på samma sida av substratet.
5. Arbeta tillsammans med MES-systemet och hantera mote molnkontroll för utrustning.

Kvalitetsövervakning och återkoppling:
1. Areadensitetsmätare i röntgenstråle för online-detektering.
2. CCD-system för dimensions- och feldetektering.
3.NG-märket bläckstråleutskrift.
4. Temperaturmätning via IR på elektrodytan inuti ugnen.
5. Massflödesmätaren övervakar flöde, viskositet och temperatur online.
6. NMP-koncentrationsövervakning för katodugn och fuktighetsdetektering för anodugn.